|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
|
|
|||
Диафрагменный манометр INFICON Edge — это высокоточный прибор для измерения вакуума, разработанный для жестких производственных условий.
Проверенный терморегулируемый, устойчивый к коррозии сверхчистый керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность диапазона в течение многих лет в сочетании с современной стабильностью нуля. Edge поставляется с запатентованным INFICON уникальным сенсорным экраном, который защищает манометр от нежелательных побочных продуктов процесса. Усовершенствованная электроника предлагает широкий спектр настраиваемых формирователей сигналов для всех приложений и опциональный интерфейс полевой шины EtherCAT.
Инновационная концепция нагрева обеспечивает охлаждение поверхности и экономит ценное место для инструментов. INFICON Edge — самый компактный прибор для измерения вакуума в своем роде.
Преимущества
Компактный, экономит ценное место для инструментов
Простая интеграция, EtherCAT, широкий выбор полных шкал и фланцев, стандартно с двумя заданными значениями
Простое нажатие одной кнопки или удаленная команда обнуления сигнала, регулируемое смещение нуля
Диагностический порт для быстрого обслуживания и ремонта
Два года гарантии, более длительный срок службы благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите манометра
Отсутствие долговременной повторной калибровки благодаря превосходной стабильности сигнала и воспроизводимости даже в агрессивных средах с плазмой
Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Типичные области применения
CVD, травление, PVD и другие процессы производства полупроводников