INFICON PPG550 Комбинированный пьезоэлектрический датчик Пирани

Новый комбинированный манометр INFICON Pirani Piezo (PPG550) основан на самой передовой сенсорной технологии МЭМС (микроэлектромеханических систем).

Комбинированная технология Пирани/Пьезо, миниатюризированная в процессе МЭМС, позволяет создать очень маленький и, таким образом, компактный датчик, что позволяет сохранить очень маленькую общую высоту измерительного устройства.

В дополнение к преимуществу малой высоты датчик Пирани, основанный на технологии МЭМС, также предлагает преимущество в более глубоком и точном измерении в диапазоне ВН по сравнению с классическим датчиком Пирани. В сочетании с пьезодатчиком MEMS, установленным на том же фланце, манометр Пирани становится настоящим вакуумным широкодиапазонным манометром, расширяя диапазон измерения далеко за пределы обычных 1000 мбар, в том числе в сторону атмосферы. В то же время пьезодатчик MEMS обеспечивает независимое от типа газа измерение давления в диапазоне 2 ... 1333 мбар. Еще одним преимуществом упомянутых технологий является повышенная устойчивость к силам ускорения и вибрациям.

Наконец, что не менее важно, новый INFICON PPG550 можно использовать для прямой замены так называемых MKS910 «DualTrans™ MicroPirani™ — абсолютных пьезодатчиков вакуумного давления», а также MKS925 «Micro Pirani™ вакуумных датчиков давления». Inficon предлагает такие же разъемы/назначение контактов, аналоговый выход и совместимость с RS232/485.

Преимущества

Тип газа не зависит от давления выше 2 мбар – обеспечивает безопасное удаление воздуха любой газовой смесью

Высокая точность и воспроизводимость при атмосферном давлении — для надежного и быстрого определения атмосферного давления

Универсальное монтажное положение — предоставляет инженерную свободу при проектировании инструментов

  Выбираемый аналоговый выходной сигнал для простой системной интеграции

  Цифровые интерфейсы RS232/RS485

Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Возможность прямого подключения вместо MKS910 «DualTrans™ MicroPirani™ — абсолютные пьезодатчики вакуумного давления», а также MKS925 «Вакуумные датчики давления Micro Pirani™». DualTrans™ MicroPirani™ являются зарегистрированными товарными знаками MKS Instruments, Андовер, Массачусетс.

Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Типичные области применения

Использование в аналитическом оборудовании/масс-спектрометрах

Физическое осаждение из паровой фазы

Измерение передней линии

  Газ-засыпка