Оптический газоанализатор INFICON Quantus HP100

Газоанализатор INFICON Quantus HP100 основан на технологии собственной плазменной оптической эмиссионной спектроскопии (SPOES) и предназначен для обнаружения утечек в режиме реального времени, обнаружения конечных точек и мониторинга процесса при производстве полупроводников. Quantus HP100 обладает превосходной чувствительностью, компактным форм-фактором и предлагает широкий диапазон рабочего давления без дорогостоящих насосов, что делает его хорошо подходящим для мониторинга и защиты процессов в большинстве полупроводниковых инструментов.

Функции

Рабочий диапазон 1 торр – 450 торр для аргона и 1 торр – 120 торр для азота (варьируется для других газов)

Низкие пределы обнаружения <1 ppm

Простая установка с использованием стандартного соединения KF25.

Быстрая выборка (максимум 20 Гц)

Небольшие размеры (В x Ш x Д): 6,4 x 6,0 x 8,3 дюйма [162 x 153 x 210 мм]

Низкие эксплуатационные расходы, насосы или расходные материалы не требуются

Удобная заменяемая в полевых условиях плазменная ячейка

Экспертная поддержка по всему миру для ваших конкретных технологических потребностей