Датчик емкости диафрагмы INFICON SKY CDG025D-X3

Линейка емкостных мембранных манометров INFICON SKY CDG025D, состоящая из высокоточных манометров с температурной компенсацией, предназначена для стабильной работы в суровых условиях производственных инструментов.

Усовершенствованная цифровая электроника улучшает характеристики манометра и предлагает простые в использовании функции, такие как функция установки нуля одной кнопкой и регулировка уставки. Устойчивый к коррозии керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность нуля с ожидаемым длительным сроком службы в несколько миллионов циклов давления, включая атмосферные выбросы. Уникальная защита сенсора (подана заявка на патент) защищает манометр от технологического загрязнения.

Надежная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают совместимость с электромагнитной совместимостью, долговременную стабильность и температурную компенсацию. CDG025D устанавливает новые стандарты быстрой стабильности после включения питания и быстрого восстановления после воздействия атмосферного давления.

Преимущества

Полная шкала находится в диапазоне от 100 мТорр … 1000 Торр

Быстрая стабильность после включения

Быстрое восстановление после атмосферного давления

Датчик из коррозионностойкой керамики

Отличная долговременная стабильность сигнала

Температурная компенсация

Сенсор защищен от загрязнения

Одна кнопка нулевой функции

Широкий диапазон питания

Типичные области применения

Оборудование для производства полупроводников для травления, CVD, PVD, ALD

Оборудование для хранения данных и дисплеев

Промышленное вакуумное оборудование

Общее высокоточное измерение давления