|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
|
|
|||
Манометры INFICON SKY CDG100D — ваш лучший выбор для точного измерения и контроля общего давления.
Манометры CDG100D контролируются по температуре на уровне 100 °C, что обеспечивает превосходную производительность в сложных полупроводниковых и плазменных процессах. Они доступны для полномасштабных диапазонов от 100 мТорр до 1000 Торр, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсами полевой шины и обеспечивают линейный сигнал давления от 0 до 10 В, независимый от типа газа. Емкостные манометры INFICON используют керамическую диафрагму из сверхчистого оксида алюминия, устойчивую к коррозии.
К преимуществам керамического сенсора относятся лучшая стабильность сигнала, более быстрое восстановление из атмосферы, короткое время прогрева и исключительный срок службы. INFICON CDG — это высококачественные и экономичные датчики давления для требовательных полупроводниковых, плазменных и вакуумных приложений.
Также доступен с цифровым интерфейсом Profinet®!
Преимущества
Низкий CoO (стоимость владения), прогрев на 50 % быстрее, энергоэффективное низкое энергопотребление
Простая интеграция, широкий выбор полных шкал, фланцев и интерфейсов, стандартно с двумя заданными точками
Простое нажатие одной кнопки или удаленная команда обнуления сигнала, регулируемое смещение нуля
Диагностический порт для быстрого обслуживания и ремонта
Два года гарантии, более длительный срок службы благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите манометра
Отсутствие долговременной повторной калибровки благодаря превосходной стабильности сигнала и воспроизводимости даже в агрессивных средах с плазмой
Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Типичные области применения
Травление, CVD, PVD и другие процессы производства полупроводников
Химические и коррозионные высокотемпературные процессы
Общие тонкопленочные и вакуумные процессы, требующие защиты датчика