|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
|
|
|||
Производительность, надежность и универсальность
INFICON Transpector CPM уже более десяти лет является лидирующей на рынке системой мониторинга технологических процессов на основе анализаторов остаточного газа (RGA) в полупроводниковой промышленности. Теперь Transpector CPM 3 обеспечивает лучшую в отрасли скорость измерения и чувствительность благодаря проверенной на практике системе нагнетания и впуска, интегрированной с новым датчиком и электроникой. Transpector CPM 3 — это идеальный монитор процесса RGA для новых и хорошо зарекомендовавших себя полупроводниковых процессов, таких как ALD, CVD, PVD и травление.
Transpector CPM 3 обеспечивает доказанный возврат инвестиций для наших партнеров за счет:
Ведущая в отрасли технология измерения
Надежная и адаптивная архитектура
Простота обслуживания
Превосходная поддержка продукта
Функции
Анализатор остаточного газа для ALD, травления, CVD и дегазации 300 мм — обеспечивает мониторинг и анализ процесса в режиме реального времени.
ALD-Ready со скоростью измерения 1,8 мс на точку (555 точек в секунду)
Проверенная на практике долговечность и надежность в самых требовательных приложениях CVD и травления
Интеграция приложений — Transpector CPM становится мощным инструментом мониторинга и диагностики процессов при интеграции с программным обеспечением FabGuard и поддержке со стороны экспертов INFICON мирового класса по приложениям.
Компактный размер позволяет легко интегрировать его в производственное полупроводниковое оборудование.
Hexblock™ с тремя впускными патрубками и уменьшенной площадью поверхности для минимизации поверхностных реакций и времени отклика
Емкостно-мембранный манометр (CDG) — CDG позволяет пользователю контролировать технологическое давление и автоматически защищать систему от скачков давления.
Автоматическая калибровка — обеспечивает долговременную стабильность данных и точность согласования датчика с датчиком и инструмента с камерой инструмента.