Калибровочная система Лейболда CS 3

Системы калибровки вакуумных датчиков

Надежность процессов требует регулярной проверки, настройки и перекалибровки вакуумных датчиков и сенсоров.

Установка приборов на исходное значение является важной частью обеспечения качества. Калиброванные датчики особенно используются там, где предъявляются высокие требования к воспроизводимости, совместимости и качеству тестовых процессов. Кроме того, если необходим четкий эталон для большого количества существующих приборов для измерения давления, калибровка обязательна.

Системы калибровки CS позволяют проверить и откалибровать ваши вакуумные датчики с заданной и требуемой точностью измерений. Это может происходить в соответствии со стандартами Немецкого органа по аккредитации (DAkkS) или любыми международными стандартами, при этом требуемая точность измерений должна быть определена пользователями.

В данном контексте термин «калибровка» означает сравнение измеренных значений с датчика, который калибруется, и так называемым «эталонным датчиком» или «передающим стандартом». При этом оба датчика должны быть подключены к одной и той же вакуумной камере, сконструированной в соответствии с требованиями ISO 3567. Сам эталонный датчик (вместе с манометром и соединительным кабелем) должен калиброваться по трассируемому передающему стандарту не реже одного раза в год.

Наши эталонные датчики сертифицируются путем сравнения с передающим стандартом PTB¹, который выдается DAkkS² сервисом калибровки Leybold GmbH.

1. PTB — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Берлин (Федеральный институт физики и техники)

2. DAkkS — Deutsche Akkreditierungsstelle (Немецкая служба аккредитации)

Мы выполняем независимую калибровку всех марок датчиков и сенсоров с 1981 года. По результатам выдается сертификат калибровки DAkkS или заводской. Устройства с недостаточной долговременной стабильностью или с принципами измерения, не пригодными для калибровки, не подлежат калибровке.

Калибровка может проводиться в статическом или динамическом режиме.

Статический режим — камера изолируется от насосной системы, и в нее подается газ до достижения требуемого давления. Для этого метода необходима низкая скорость дегазации, что достигается чистой камерой и продолжительным откачиванием.

Динамический режим — давление камеры регулируется дозирующим клапаном подачи газа и дроссельным клапаном на входе турбомолекулярного насоса. Количество входящего газа вручную уравновешивается с откачиваемым, чтобы поддерживать стабильное давление.