Leybold LEYSPEC - Универсальные анализаторы остаточных газов

Идеальный анализатор остаточных газов (RGA) для требовательных применений в высоком и сверхвысоком вакууме

Нажатием кнопки вы можете отобразить парциальные давления ключевых газов, а если в вашем процессе участвует дополнительный газ, его можно назначить на свободный канал отображения.

Благодаря высокой температуре прогрева LEYSPEC идеально подходит для использования в требовательных применениях в высоком и сверхвысоком вакууме.

Принцип работы
Измерительная ячейка представляет собой ионизационный вакуумный датчик с горячим катодом. Электроны испускаются с нагретой нити и ускоряются к источнику с помощью электрического смещения. Быстро движущиеся электроны сталкиваются с молекулами газа, выбивая электроны и тем самым ионизируя их. Положительные ионы газа передают свой ток на отрицательно заряженный ионный коллектор. Ионный ток пропорционален давлению: чем больше ионов, тем выше ионный ток.

Квадрупольный массив состоит из четырех стержней из нержавеющей стали. На все стержни подается постоянный ток и высокочастотное напряжение, создавая сложное магнитное поле. Изменяя напряжение, можно управлять магнитным полем.

В результате колебаний только ионы с определенной массой могут «пролететь» через него и достичь детектора:

• Ионы с подходящим отношением массы к заряду (m/e) будут колебаться по стабильной трехмерной траектории через стержни.

• Ионы с неподходящим m/e будут колебаться хаотично и столкнутся со стержнями.

Ионы попадают в ионный коллектор и создают выходной ток, который является мерой относительного количества ионов, прошедших через фильтр. Затем ионный ток или парциальное давление в зависимости от соотношения m/z отображаются на приборе или в программном обеспечении.

На основе описанного принципа работы LEYSPEC RGA проверяет чистоту газа, определяя и отображая его состав. Это позволяет идентифицировать загрязнения газа и осуществлять дальнейший контроль процесса и оборудования для оптимизации производительности и выхода продукта.

Модульная платформа, простое обслуживание
Благодаря высокой чувствительности LEYSPEC позволяет обнаруживать даже очень малые следы загрязнений или технологических газов. Линейка продуктов включает решения на 100, 200 и 300 а.е.м. Возможен прогрев до 300 °C для работы в жестких условиях.

LEYSPEC можно интуитивно управлять с помощью собственного программного обеспечения и встроенного блока управления и отображения. Простой анализ остаточных газов возможен без подключения к компьютеру. Ключевые газы можно отобразить нажатием кнопки, а дополнительный дисплей позволяет показывать дополнительные газы.

Они также подходят для требовательных испытательных процедур и анализа остаточных газов в высоковакуумных системах.

С предустановленными функциями LEYSPEC, такими как тестирование на герметичность гелием, предупреждения и уровни ошибок для выбранных газов, а также функция дегазации после запуска или вентиляции, этот анализатор остаточных газов является отличным дополнением к любой системе.