|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
|
|
|||
UNIVEX 900
UNIVEX 900 представляет собой наиболее совершенное решение для обработки подложек средних и крупных размеров, а также для высокопроизводительных процессов. Система позволяет наносить покрытия на подложки/держатели подложек диаметром до 800 мм. Управляющая система поддерживает ручные, полуавтоматические и полностью автоматизированные процессы нанесения покрытий.
Основные характеристики:
-
Максимальный размер подложки: диаметр до 800 мм (включая держатели)
-
Гибкость управления: полный спектр режимов работы от ручного до полностью автоматического
-
Высокая производительность: оптимизирована для работы с большими партиями подложек
Типичные применения:
-
Оптические покрытия
-
Оптоэлектронные устройства
-
Резистивная память (ReRAM)
-
Высокотемпературные сверхпроводники
Стандартные конфигурации:
-
Нагреватели и/или охладители подложек
-
Многотопливный электронно-лучевой испаритель с ионными источниками для предварительной очистки подложек и ионно-ассистированного осаждения
-
Палитра, купольная или планетарная конфигурация подложек для единичных или множественных образцов
-
Несколько магнетронных мишеней в конфокальной или встречной конфигурации