|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
|
|
|||
UNIVEX C - CLUSTER
Наши кластеры UNIVEX конфигурируются в соответствии с требованиями заказчика и включают отдельные камеры для обработки, загрузочные камеры и камеры для переноса образцов. Обычно каждая вакуумная камера оснащена собственной системой высокого вакуума. В загрузочной камере в простейшем варианте загрузка производится вручную по одному субстрату. Также возможна пакетная обработка нескольких субстратов с использованием магазинов.
Для перемещения субстратов между вакуумными камерами обычно используются роботизированные манипуляторы с электроприводом или линейные переносные устройства. Программное обеспечение UNIVEX адаптируется под конкретные требования приложения и, как правило, позволяет полностью автоматическое выполнение процесса, включая обработку рецептов.