INFICON PPG570 Комбинированный пьезоэлектрический датчик Пирани

Новый комбинированный манометр INFICON Pirani Piezo (PPG570) основан на самой передовой сенсорной технологии MEMS (микроэлектромеханических систем), которая также используется в нашем манометре PPG550 «ATM to Medium Vacuum».

Что отличает PPG570 от PPG550, так это дополнительный установленный датчик ATM, который позволяет использовать PPG570 в классических приложениях Load-lock. Например, в полупроводниковой промышленности или любых других вакуумных приложениях, где важно точное измерение давления относительно атмосферного давления окружающей среды.

Комбинированная технология Пирани/Пьезо, миниатюризированная в процессе МЭМС, позволяет создать очень маленький и, таким образом, компактный датчик, что позволяет сохранить очень маленькую общую высоту измерительного устройства.

В дополнение к преимуществу малой высоты датчик Пирани, основанный на технологии МЭМС, также предлагает преимущество в более глубоком и точном измерении в диапазоне ВН по сравнению с классическим датчиком Пирани. В сочетании с пьезодатчиком MEMS, установленным на том же фланце, манометр Пирани становится настоящим вакуумным широкодиапазонным манометром, расширяя диапазон измерения далеко за пределы обычных 1000 мбар, в том числе в сторону атмосферы. В то же время пьезодатчик MEMS обеспечивает независимое от типа газа измерение давления в диапазоне 2 ... 1333 мбар. Еще одним преимуществом упомянутых технологий является повышенная устойчивость к силам ускорения и вибрациям.

Наконец, что не менее важно, новый INFICON PPG570 можно использовать для прямой замены так называемого MKS Instruments MKS901P «преобразователь вакуумного давления MicroPirani™ и пьезозамка». PPG570 предлагает те же разъемы/назначение контактов, аналоговый выход и совместимость с цифровым протоколом связи RS232/485.

Преимущества

Тип газа не зависит от давления выше 2 мбар – обеспечивает безопасное удаление воздуха любой газовой смесью

Высокая точность и воспроизводимость при атмосферном давлении — для надежного и быстрого определения атмосферного давления

  Измерение атмосферного давления окружающей среды

До 3 твердотельных реле

Универсальное монтажное положение — предоставляет инженерную свободу при проектировании инструментов

  Выбираемый аналоговый выходной сигнал для простой системной интеграции

Цифровые интерфейсы RS232/RS485

Возможность прямого сброса вместо MKS901P «MicroPirani™ — вакуумный преобразователь давления с пьезозамком».

Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Типичные области применения

Полупроводниковые замки нагрузки

Использование в аналитическом оборудовании/масс-септрометрах

Физическое осаждение из паровой фазы

Физическое осаждение из паровой фазы