INFICON PPG570 Pirani Piezo kombinētais mērītājs

Jaunais INFICON Pirani Piezo kombinētais mērītājs (PPG570) ir balstīts uz vismodernāko pieejamo MEMS (mikroelektromehānisko sistēmu) sensoru tehnoloģiju, kas tiek izmantota arī mūsu mērierīcē PPG550 "ATM līdz vidējam vakuumam". .

Kas PPG570 atšķir no PPG550, ir papildu uzstādīts ATM sensors, kas ļauj izmantot PPG570 klasiskajās Load-lock lietojumprogrammās. Piemēram, pusvadītāju nozarēs vai citos vakuuma lietojumos, kur ir svarīgi precīzi mērīt spiedienu attiecībā pret atmosfēras spiedienu. 

MeMS procesā miniaturizētā Pirani/Piezo kombinācijas tehnoloģija ļauj izveidot ļoti mazu un tādējādi vietu taupošu sensoru, kas ļauj saglabāt kopējo mērierīces augstums ir ļoti mazs. 

Papildus zemā augstuma priekšrocībām, Pirani, kura pamatā ir MEMS tehnoloģija, piedāvā arī dziļāku un precīzāku mērījumu priekšrocību HV diapazonā nekā klasiskais Pirani. Kombinācijā ar MEMS pjezo sensoru, kas uzstādīts tajā pašā atlokā, Pirani mērierīce kļūst par īstu vakuuma plaša diapazona mērītāju, paplašinot mērījumu diapazonu daudz vairāk par parastajiem 1000 mbar, arī virzienā uz atmosfēru. Tajā pašā laikā MEMS pjezo sensors nodrošina gāzes tipa neatkarīgu spiediena mērījumu diapazonā no 2 ... 1333 mbar. Vēl viena minēto tehnoloģiju priekšrocība ir paaugstināta pretestība paātrinājuma spēkiem un vibrācijām.

Pēdējais, bet ne mazāk svarīgais jaunais INFICON PPG570 var izmantot, lai tiešā veidā nomainītu tā sauktos MKS instrumentus MKS901P “MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer”. PPG570 piedāvā tos pašus savienotājus/kontaktu piešķiršanu, analogo izvadi un RS232/485 digitālā sakaru protokola saderību. 

Priekšrocības

Neatkarīgs no gāzes veida virs 2 mbar – nodrošina drošu atgaisošanu ar jebkuru gāzu maisījumu

Augsta precizitāte un reproducējamība plkst. atmosfēra – uzticamai,ātra atmosfēras spiediena noteikšana 

 Atmosfēras spiediena mērīšana 

Līdz pat 3 cietvielu relejiem 

Daudzpusīga montāžas orientācija — nodrošina inženierijas brīvību instrumentu projektēšanā

 Izvēlams analogais izejas signāls ērtai sistēmas integrācijai 

Digitālās saskarnes RS232/RS485 

Var tieši nomainīt MKS901P “MicroPirani™ un Piezo Loadlock vakuuma spiediena devēju”. 

Atbilstība un standarti: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Tipiski lietojumi

Pusvadītāju slodzes bloķēšanas lietojumprogrammas

Izmantošana analītiskajā iekārtā/masas sepctrometri

Fiziskā tvaiku pārklāšana 

Fiziskā tvaiku pārklāšana