Системы нанесения покрытий на коробки Leybold UNIVEX 400

UNIVEX 400
UNIVEX 400 — компактная система напыления для лабораторных задач и пилотного производства. Благодаря размерам камеры она идеально подходит для нанесения покрытий на подложки малого и среднего размера.

Подложки / держатели подложек диаметром до 350 мм могут быть покрыты.

Система управления позволяет запускать ручные, полуавтоматические и полностью автоматические процессы напыления.

Основные области применения:

• Тонкопленочные солнечные элементы: процессы распыления CdTe, CIGS, CZTS

• Органическая электроника (ФЭМ, OLED)

• Оптические покрытия

• Микроэлектроника

Типовые конфигурации:

• Мульти-позиционный электронно-лучевой испаритель с термическим испарителем и ионным источником

• До четырёх 2-дюймовых распылительных пушек в конфокальной конфигурации для распыления вверх или вниз

• Электронно-лучевые и органические испарители для формирования неорганическо-органического перовскита