|
Daudzums
|
Cena
|
||
|
|
|||
|
|
|||
UNIVEX 400
UNIVEX 400 ir kompakta pārklājumu sistēma laboratorijas uzdevumiem un pilotražošanai. Pateicoties kameras izmēriem, tā ideāli piemērota mazu un vidēju substrātu pārklāšanai.
Var pārklāt substrātus/substrātu turētājus ar kopējo diametru līdz 350 mm.
Sistēmas kontrolieris ļauj veikt manuālus, pusautomātiskus un pilnībā automātiskus pārklājuma procesus.
Biežākās pielietošanas jomas:
-
Plāno plēvju saules baterijas: CdTe, CIGS, CZTS sputtera procesi
-
Organiskā elektronika (PV, OLED)
-
Optiskie pārklājumi
-
Mikroelektronika
Tipiskās konfigurācijas:
-
Multi-kabatas elektronstaru iztvaicētājs ar termisko iztvaicētāju un jonu avotu
-
Līdz četriem 2 collu sputtera ieročiem konfokālā konfigurācijā pārklāšanai uz augšu vai uz leju
-
Elektronu staru un organisko materiālu iztvaicētāji neorganisko-organisko perovskītu veidošanai
izveide