|
Daudzums
|
Cena
|
||
|
|
|||
INFICON Quantus HP100 gāzes analizators ir balstīts uz pašplazmas optiskās emisijas spektroskopijas (SPOES) tehnoloģiju un ir izstrādāts, lai nodrošinātu reāllaika noplūdes noteikšanu, galapunkta noteikšanu un procesa uzraudzību pusvadītāju ražošanas laikā. Quantus HP100 ir lieliska jutība, kompakts formas faktors un piedāvā plašu darbības spiediena diapazonu bez dārgiem sūkņiem, padarot to labi piemērotu procesa uzraudzībai un aizsardzībai lielākajā daļā pusvadītāju instrumentu.
Funkcijas
Darbības diapazons 1 Torr – 450 Torr argonam un 1 Torr – 120 Torr slāpeklim (atšķiras citām gāzu sugām)
Zemi noteikšanas ierobežojumi <1 ppm
Vienkārša uzstādīšana, izmantojot standarta KF25 savienojumu< /font>
Ātra paraugu ņemšana (maksimums 20 Hz)
Mazs nospiedums (A x W x L): 6,4 x 6,0 x 8,3 collas [162 x 153 x 210 mm]
Maza apkope, nav nepieciešami sūkņi vai palīgmateriāli
Ērta lauka nomaināma plazmas šūna
Vispasaules ekspertu atbalsts jūsu konkrētajām procesa vajadzībām
izveide