|
Daudzums
|
Cena
|
||
|
|
|||
Veiktspēja, uzticamība un daudzpusība
INFICON Transpector CPM ir bijis tirgū vadošais atlikušās gāzes analizators (RGA). ) procesu uzraudzības sistēma pusvadītāju nozarē vairāk nekā desmit gadus. Tagad Transpector CPM 3 nodrošina nozarē vadošo mērīšanas ātrumu un jutīgumu, izmantojot pārbaudītu sūknēšanas un ieplūdes sistēmu, kas integrēta ar jaunu sensoru un elektroniku. Transpector CPM 3 ir ideāls RGA procesa monitors jauniem un izveidotiem pusvadītāju procesiem, piemēram, ALD, CVD, PVD un Etch.
Transpector CPM 3 nodrošina pierādītu ieguldījumu atdevi mūsu partneriem, izmantojot:
br>
Nozarē vadošā mērīšanas tehnoloģija
Izturīga un adaptīva arhitektūra
font>
Vienkārša apkope
Izcils produktu atbalsts
Funkcijas
Atlikuma gāzes analizators ALD, Etch, CVD un 300 mm gāzēm — nodrošina reāllaika procesu uzraudzība un analīze
ALD-Ready ar 1,8 ms uz punktu (555 punkti sekundē) mērīšanas ātrumu
< font size="3">Rūpībā pārbaudīta izturība un uzticamība visprasīgākajās CVD un Etch lietojumprogrammās
Lietojumprogrammu integrācija — Transspector CPM kļūst par jaudīgu procesa uzraudzību un diagnostikas rīks, ja tas ir integrēts ar FabGuard programmatūru un to atbalsta INFICON pasaules klases lietojumprogrammu eksperti
Kompakts izmērs — ļauj viegli integrēt ražošanas pusvadītāju iekārtās
Hexblock™ ar līdz pat trim spiediena ieplūdēm un samazinātu virsmas laukumu, lai samazinātu virsmas reakcijas un reakcijas laiku
Kapacitātes diafragmas mērītājs (CDG) — CDG ļauj lietotājam uzraudzīt procesa spiedienu un automātiski aizsargāt sistēmu no spiediena novirzēm
Automātiskā kalibrēšana — nodrošina ilgtermiņa datu stabilitāte un precizitāte sensora un sensora un instrumenta un instrumenta kameras saskaņošanai
izveide