|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
Газоанализатор INFICON Quantus HP100 основан на технологии собственной плазменной оптической эмиссионной спектроскопии (SPOES) и предназначен для обнаружения утечек в режиме реального времени, обнаружения конечных точек и мониторинга процесса при производстве полупроводников. Quantus HP100 обладает превосходной чувствительностью, компактным форм-фактором и предлагает широкий диапазон рабочего давления без дорогостоящих насосов, что делает его хорошо подходящим для мониторинга и защиты процессов в большинстве полупроводниковых инструментов.
Функции
Рабочий диапазон 1 торр – 450 торр для аргона и 1 торр – 120 торр для азота (варьируется для других газов)
Низкие пределы обнаружения <1 ppm
Простая установка с использованием стандартного соединения KF25.
Быстрая выборка (максимум 20 Гц)
Небольшие размеры (В x Ш x Д): 6,4 x 6,0 x 8,3 дюйма [162 x 153 x 210 мм]
Низкие эксплуатационные расходы, насосы или расходные материалы не требуются
Удобная заменяемая в полевых условиях плазменная ячейка
Экспертная поддержка по всему миру для ваших конкретных технологических потребностей