Система газового анализа INFICON Transpector MPH

Постоянно растущие цены на кремниевые пластины и спрос на готовую продукцию означают, что утилизированные пластины стоят дороже, чем когда-либо прежде. Таким образом, понимание вашего процесса и отслеживание дефектов стало гораздо более важным приоритетом в центрах по производству полупроводников. Система газоанализа Transpector MPH разработана для того, чтобы разблокировать ваш технологический процесс с лучшей в отрасли производительностью для всех ваших приложений по анализу газа, чтобы помочь максимизировать выход стружки и минимизировать время простоя инструмента. В сочетании с низкой общей стоимостью владения и высокой средней наработкой на отказ, Transpector MPH помогает вам больше, чем любой другой анализатор остаточного газа (RGA) на рынке.

Компания INFICON использовала свой опыт в области оборудования для управления процессом анализа газов, чтобы создать RGA с лучшей в отрасли скоростью сбора данных, минимальным обнаруживаемым парциальным давлением и отношением сигнал/шум. Все это без ущерба для надежности, которую вы привыкли ожидать от газоанализаторов INFICON Transpector.

Функции

Макс. Скорость передачи данных 1,8 мс на точку для аналогового сканирования и выбранных пиков

Ethernet-соединение TCP/IP

Двойные нити

Заменяемый в полевых условиях электронный умножитель

Комбинированный комплект нитей анода, катода и репеллера

Более короткие датчики минимизируют установленную площадь

Девятидесятичный динамический диапазон

MDPP <2E-15 Торр (100 а.е.м.)

Повышенное отношение сигнал/шум

Сменные датчики и электроника

Датчики собираются, тестируются и упаковываются в двойные пакеты в чистых помещениях.

Соответствует RoHS