|
Количество
|
Стоимость
|
||
|
|
|||
Мониторинг и контроль быстрых изменений процесса
Новый анализатор остаточного газа (RGA) Transpector XPR 3+ обеспечивает лучшую в отрасли скорость измерения для мониторинга и контроля быстрых изменений процессов, необходимых для современного производства полупроводников и дисплеев. Transpector XPR 3+ идеально подходит для контроля утечек воздуха на месте, чистоты газа, углеводородов и загрязнения. Измерение в режиме реального времени с помощью Transpector XPR 3+ обеспечивает гораздо лучшую защиту продукта по сравнению с периодическими тестами скорости нарастания.
Повышение прибыльности за счет увеличения времени безотказной работы инструмента
Transpector XPR 3+ RGA — это проверенный на практике квадрупольный датчик с двойным источником ионов для приложений с диапазоном давления распыления. Оборудование для преобразования давления не требуется, компоненты с длительным сроком службы и способность быстро обнаруживать и диагностировать проблемы в совокупности обеспечивают максимальную доступность инструментов, производительность и выход продукции. Датчик может работать непрерывно в диапазоне от высокого вакуума до 20 мТорр без использования насосов. Камеры двойного источника ионов Transpector XPR 3+ спроектированы таким образом, чтобы ограничивать покрытие для поддержания чувствительности источника ионов и увеличения среднего времени обслуживания датчика.
Преимущества
Защита пластин и панелей в режиме реального времени благодаря высокочувствительному обнаружению утечек воздуха и загрязнений от высокого вакуума до давления процесса PVD
Максимальная эффективность БДМ и время безотказной работы инструмента благодаря быстрой и надежной аттестации камеры
Свести к минимуму общую стоимость владения благодаря более длительному сроку службы, устойчивой к загрязнению конструкции с двойным источником ионов; отслеживает давление до 20 мТорр без использования насосов. Вариант EM низкого давления обеспечивает экономичную альтернативу
Безупречная интеграция и надежный запрет благодаря мощному сбору данных и синхронизации
Расширьте уникальные производственные возможности с помощью индивидуальной оптимизации рецептов
Защищает критически важные технологические потребности с немедленным реагированием экспертов на месте
Типичные области применения
Модули процессов PVD и напыления
Модули предварительной очистки
Некластерные инструменты PVD
Зажимные модули дегазации