|
Daudzums
|
Cena
|
||
|
|
|||
|
|
|||
Pārraugiet un kontrolējiet ātrās procesa izmaiņas
Jaunais Transpector XPR 3+ atlikušās gāzes analizators (RGA) nodrošina nozarē vadošos mērījumu ātrumus, lai uzraudzītu un kontrolētu straujās procesa izmaiņas, kas nepieciešamas modernai pusvadītāju un displeju ražošanai. Transpector XPR 3+ ir ideāli piemērots gaisa noplūdes, gāzes tīrības, ogļūdeņražu un piesārņojuma uzraudzībai in situ. Reāllaika mērījumi ar Transpector XPR 3+ nodrošina daudz labāku produkta aizsardzību salīdzinājumā ar periodiskiem pieauguma ātruma testiem.
< /span>
Ienesīguma palielināšana, maksimāli palielinot rīka darbības laiku
Transpector XPR 3+ RGA ir uz lauka pārbaudīts kvadrupola un divu jonu avota sensors izsmidzināšanas spiediena diapazona lietojumiem. Nav nepieciešamas spiediena pārveidošanas iekārtas, komponenti ar ilgu kalpošanas laiku un spēja ātri atklāt un diagnosticēt problēmas apvieno, lai maksimāli palielinātu instrumenta pieejamību, produkta caurlaidspēju un ražu. Sensoru var darbināt nepārtraukti no augsta vakuuma līdz 20 mTorr, neizmantojot sūkņus. Transpector XPR 3+ divu jonu avota kameras ir paredzētas, lai ierobežotu pārklājumu, lai saglabātu jonu avota jutību un pagarinātu sensora vidējo laiku līdz apkopei.
Priekšrocības
font>
Reāllaika plāksnīšu un paneļu aizsardzība, pateicoties augstas jutības gaisa noplūdes un piesārņojuma noteikšanai no augsta vakuuma līdz PVD procesa spiedienam
Palieliniet PM efektivitāti un instrumenta darbspējas laiku, izmantojot ātru un uzticamu kameras kvalifikāciju
Samaziniet kopējās īpašumtiesību izmaksas ar ilgāku kalpošanas laiku, piesārņojuma izturīgs, divu jonu avota dizains; uzrauga līdz 20 mTorr bez nepieciešamības pēc sūkņiem.Zema spiediena EM variants nodrošina izmaksu ziņā jutīgu alternatīvu
Nevainojamu integrāciju un uzticamu aizliegumu, izmantojot jaudīgu datu ieguvi un sinhronizāciju
Uzlabojiet unikālas ražošanas iespējas, izmantojot pielāgotu receptes optimizāciju
Aizsargā kritiskās procesu vajadzības, nekavējoties reaģējot uz vietas no ekspertiem
Tipiski lietojumi
PVD un izsmidzināšanas procesa moduļi
Pirmattīrīšanas moduļi
Ne-klasteru PVD rīki
Sastiprinātie gāzu moduļi
izveide