Leybold UNIVEX 600 kastes pārklājumu sistēmas

UNIVEX 600
UNIVEX 600 ir kompakta pārklājumu sistēma laboratorijas uzdevumiem un pilotražošanai. Pateicoties kameras izmēram, tā piemērota vidēja un liela izmēra substrātiem.

Sasniedzamais substrātu caurlaidspējas apjoms atbilst vispārējām prasībām mazapjoma sēriju ražošanai. Var pārklāt substrātus/substrātu turētājus ar maksimālo kopējo diametru līdz 550 mm.

Sistēmas kontrolieris ļauj veikt manuālus, pusautomātiskus un pilnībā automatizētus pārklājuma procesus.

Biežākās pielietošanas jomas:

• Optiskie pārklājumi

• Optoelektroniskās ierīces

• Rezistīvā RAM atmiņa

• Augstas temperatūras augstvērtīgie vadītāji (supervadītāji)

Tipiskās konfigurācijas:

• Substrātu sildītāji un/vai dzesētāji

• Multi-kabatas elektronstaru iztvaicētājs ar termisko iztvaicētāju un jonu avotu

• Paletes, kupola vai planetāras substrātu konfigurācijas atsevišķiem vai vairākiem paraugiem

• Vairāki sputtera ieroči konfokālā vai “seja pret seju” konfigurācijā