INFICON Bayard-Alpert Pirani kombinētais mērītājs BPG402-S

INFICON Bayard-Alpert Pirani Combination Gage, BPG402-S, darbojas kā divi mērinstrumenti vienā kompaktā vienībā, kas mēra no 5 × 10-10 mbar līdz atmosfērai (3,8 × 10-10 Torr). uz atmosfēru). 

Tehnoloģiju apvienošana samazina uzstādīšanas, iestatīšanas un integrācijas sarežģītība. Izvēlieties BPG402-S ar diviem itrija oksīda pārklājuma irīdija pavedieniem, lai nodrošinātu pieņemamu cenu un atkārtojamu procesu, lai veiktu spiediena mērījumus vienā ekonomiskā iepakojumā. Sensoru elementi ar iebūvētiem kalibrēšanas datiem garantē augstu reproducējamību, mainot sensorus.

Pieejams arī ar EtherCAT digitālo saskarni!

Priekšrocības

Īpaši plašs mērījumu diapazons no 5 × 10-10 mbar līdz atmosfērai (3,8 × 10-10 Torr līdz atmosfērai)

Lieliska procesa atkārtojamība spiediena diapazons no 10-8 … 10-2 mbar 5%

Pirani bloķētājs aizsargā kvēldiegu no priekšlaicīgas izdegšanas

< p>Divi ilgstoši ar itrija oksīdu pārklāti irīdija pavedieni

Pieejami pēc izvēles grafiskā displeja un lauka kopnes saskarnes< /p>

Automātiska augsta vakuuma Pirani regulēšana samazina operatora iejaukšanos

Ērti apmaināms sensors ar iebūvētu kalibrēšanas dati garantē augstu reproducējamību

RoHS atbilstība

Tipiski lietojumi

Spiediena mērīšana pusvadītāju procesā un pārvades kamerās

Rūpnieciskais pārklājums< /p>

Vispārīga vakuuma mērīšana un kontrole zema līdz īpaši augsta vakuuma diapazonā