INFICON IE414 augstas klases vakuuma sensors

IE414 un IE514 ir augstas klases vakuuma sensori, kuru pamatā ir karstā katoda jonizācijas efekts. IE414 ir Bayard-Alpert mērierīce, savukārt IE514 ir balstīta uz ekstraktora principu. Šos pasīvos mērierīces kombinē un kontrolē vakuuma mērinstrumenta kontrolleris IM540. 

< font size="3">Pateicoties katoda emisijas strāvas modulācijai, IE414 mērījumu diapazons aptver 10 gadu desmitus no 10-2 mbar līdz 10-11 mbar. Ekstraktora princips ļauj IE514 sasniegt zemāko mērījumu robežu 2 × 10-12 mbar, pateicoties tā raksturīgajam rentgenstaru un jonu desorbcijas efektu samazinājumam. IE414 un IE514 mērinstrumentu galviņas ir paredzētas vakuuma sistēmām ar zemu izplūdes gāzi, un tās var cept līdz ārkārtīgi augstai temperatūrai (400 °C). Temperatūras izturīgs mērinstrumenta kabeļa komplekts ir paredzēts arī augstai cepšanas temperatūrai, kas pārsniedz 200 °C (250 °C sensora atlokā).

Priekšrocības

Augsta mērījumu precizitāte, pateicoties individuāli kalibrētai sensoru sistēmai

Maināms katods

Ārkārtīgi augstas temperatūras cepšana līdz 400 °C

IE414

Bajara-Alperta sensora princips

Mērījumu diapazons līdz 2 × 10-11 mbar

Modulācija katoda emisijas strāva (kombinācijā ar vakuuma mērītāja kontrolieri IM540)

IE514

Izvilkšanas sensora princips

zemākā mērījumu robeža, līdz 2×10-12 mbar

Ievērojama rentgenstaru un jonu desorbcijas efektu samazināšanās

Tipiski pielietojumi

Zinātniskie un pētniecības un attīstības lietojumi, kuriem nepieciešams precīzs vakuuma mērījums īpaši augsta vakuuma diapazonā un izcepšana augstā temperatūrā

font>

Darbības bloki

Vakuuma mērinstrumentu kontrolieris IM540