INFICON vienkāršā Bayard-Alpert karsto jonu mērierīce BAG402

INFICON viens Bayard-Alpert karsto jonu mērītājs BAG402 aptver plašu mērījumu diapazonu no 5 × 10-10 mbar līdz 2,7 × 10-2 mbar (3,75 × 10-10 Torr līdz 5 × 10-2 Torr). Izvēlieties INFICON BAG402, lai nodrošinātu pieņemamu cenu un atkārtojamu spiediena mērījumu bāzes procesu kompaktā aktīvā mērītāja komplektā. 

Unikālie, atbalstītie dubultie pavedieni piedāvā izcilu precizitāti, ilgtermiņa stabilitāti un ilgmūžību.

Priekšrocības

Mērījumu diapazons no 5 × 10-10 mbar līdz 2,7 × 10-2 mbar (3,75 × 10-10 Torr līdz 5 × 10-2 Torr)

Lieliska atkārtojamība procesa spiediena diapazonā no 10-8 … 10-2 mbar no 5%

Pārspiediena noteikšana aizsargā kvēldiegu no priekšlaicīgas izdegšanas

Divi ilgmūžīgie itrija oksīda pārklājuma irīdija pavedieni

Automātiska emisijas strāvas izvēle samazina vadības sarežģītību

Viegli apmaināms sensora elements ar iebūvētiem kalibrēšanas datiem garantē augstu reproducējamību< /font>

RoHS atbilstība

Tipiski lietojumi

< p>Spiediena mērīšana pusvadītāju procesā un pārvades kamerās

Rūpnieciskais pārklājums

Vispārīga vakuuma mērīšana un kontrole zema līdz īpaši augsta vakuuma diapazonā